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簡(jiǎn)要描述:srs UGAPM200 氣體分析儀UGAPM系列過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是設(shè)計(jì)用于分析過程氣體的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。入口以低流速(約 5x10-5 mbar L/sec)連續(xù)采樣氣體,使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過程監(jiān)測(cè)儀運(yùn)行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統(tǒng)<1.5 秒響應(yīng)時(shí)間 (0.1 Torr)多點(diǎn)分析多范圍應(yīng)用幾乎零死體積系統(tǒng)烘烤
詳細(xì)介紹
品牌 | SRS/斯坦福 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣 |
srs UGAPM200 氣體分析儀
UGAPM系列過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是設(shè)計(jì)用于分析過程氣體的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。入口以低流速(約 5x10-5 mbar L/sec)連續(xù)采樣氣體,使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過程監(jiān)測(cè)儀運(yùn)行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統(tǒng)<1.5 秒響應(yīng)時(shí)間 (0.1 Torr)多點(diǎn)分析多范圍應(yīng)用幾乎零死體積系統(tǒng)烘烤和樣品線加熱UGAPM 系列過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)UGAPM 系列過程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是專為分析過程氣體而設(shè)計(jì)的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 至 1 mTorr。入口以低流速(約 5x10-5 mbar L/sec)連續(xù)對(duì)氣體進(jìn)行采樣,使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 應(yīng)用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子體蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、真空熱處理、目標(biāo)老化、泄漏檢測(cè)/虛擬泄漏/解吸、污染物研究、小體積分析(0.1 mL 范圍)等。這些分析儀也易于操作和維護(hù)。所有組件都可以從前面板或遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制。在UGAPM系統(tǒng)中,使用外徑為1/16“或1/8"的SS毛細(xì)管來適應(yīng)中真空采樣。通過這種配置,工藝室和分析儀之間的死體積幾乎為零。工作原理UGAPM內(nèi)部視圖UGAPM系統(tǒng)使用單級(jí)毛細(xì)管減壓入口對(duì)1 mTorr至20 Torr的氣體進(jìn)行采樣。在壓力降低到10-6 Torr左右后,氣流被發(fā)送到質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀-RGA),該質(zhì)譜儀測(cè)量每個(gè)目標(biāo)質(zhì)量的濃度。UGAPM Windows 軟件為復(fù)雜的圖形繪制和數(shù)據(jù)分析提供了圖形用戶界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。多毛細(xì)管入口可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置,可以應(yīng)用于不同位置的特定樣品壓力。另一種是多量程配置,可應(yīng)用于各種范圍的樣品壓力。
深圳市美佳特科技有限公司(簡(jiǎn)稱“美佳特")成立于2010年,致力于光通訊測(cè)試、通用電子測(cè)量及5G測(cè)試服務(wù)。美佳特以“無線溝通,溝通無極限 "企業(yè)使命,業(yè)務(wù)聚焦于精密測(cè)試測(cè)量?jī)x器的租賃、銷售、維護(hù)、計(jì)量及測(cè)試環(huán)境搭建等一站式服務(wù)。N2843A Keysight 無源探頭 Keysight 是德
主營(yíng)產(chǎn)品:示波器主機(jī)和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號(hào)源、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時(shí)域反射儀、可調(diào)諧激光源、光功率計(jì)、光衰減器等。合作品牌:安捷倫、是德、泰克、安立、愛得萬、安騰、力科、馬可尼(IFR)、R&S、EXFO等。N2843A Keysight 無源探頭 Keysight 是德
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