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chroma 7935 晶圓檢測系統

簡要描述:chroma 7935 晶圓檢測系統 主要特色:大可檢測8“ 晶圓 (檢測區域達10“ 范圍 )可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目上片后晶圓對位機制自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格影像辨識成功率高達 98%可結合上游測試機晶粒資料,合并后上傳至下一道制程設備提供檢測報表編輯器,使用者可自行選擇適用資料并進行分析適合LED、雷射二極體及影像感測器等產

  • 產品型號:致茂7935
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-26
  • 訪  問  量:881

詳細介紹

品牌Chroma/致茂產地類別進口
應用領域綜合

chroma 7935 晶圓檢測系統


主要特色:大可檢測8" 晶圓 (檢測區域達10" 范圍 )可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目上片后晶圓對位機制自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規格影像辨識成功率高達 98%可結合上游測試機晶粒資料,合并后上傳至下一道制程設備提供檢測報表編輯器,使用者可自行選擇適用資料并進行分析適合LED、雷射二極體及影像感測器等產業 ?


Chroma 7935晶圓檢測機為切割后自動化晶粒檢測機,使用良好的打光技術,可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及取像模式,使得 7935可以適用于LED、雷射二極體及影像感測器等產業。由于使用高速相機以及自行開發之檢測演算法,7935可以針對特定瑕疵項目在2 分鐘內檢測完2"晶圓,換算為單顆處理時間為15 msec。7935同時也提供了自動 對焦與翹曲補償功能,以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7935可配置不 同倍率之物鏡,使用者可依晶?;蜩Υ贸叽邕x擇適當的檢測倍率。系統搭配的 小解析度為0.35um,一般來說,可以檢測1um左右的瑕疵尺寸。系統功能 在擴膜之后,晶粒或晶圓可能會產生不規則的排列,7935也提供了搜尋及排列功 能以轉正晶圓。此外,7935擁有人性化的使用介面可降低學習曲線,所有的必要 資訊,如晶圓分布,瑕疵區域,檢測參數及結果,均可清楚地透過UI呈現。瑕疵資料分析 所有的檢測結果均會被記錄下來,而不僅只是良品/不良品的結果。這有助于找 出一組佳參數,達到漏判與誤判的平衡點,瑕疵原始資料亦有幫助于分析瑕疵 產生之趨勢,并回饋給制程人員進行改善。綜合上述說明,Chroma 7935是晶圓檢測制程考量成本與效能的佳選擇。應用范圍應用范圍7935 晶圓檢測系統


chroma 7935 晶圓檢測系統



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